[发明专利]自动硅片匀胶机用涂胶装置在审
| 申请号： | 201510885973.2 | 申请日： | 2015-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN105396754A | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 靳立辉;张学强;白聪轩;崔振强;高树良;周晓英 | 申请（专利权）人： | 天津中环半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/08;B05C13/02 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300384 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自动硅片匀胶机用涂胶装置，包括胶管、点胶机、真空吸盘、调速电机、升降气缸、主轴套管、升降板、导轨和滑块，硅片放置后，通过气道抽真空，从而起到真空吸附作用，调速电机可以使涂胶工位高速旋转硅片，从而使胶液均匀覆盖整个硅片，控制调速电机速度即可控制涂胶厚度和均匀度，升降气缸控制涂胶工位的升降从而完成取片任务，技术效果是，结构简单、最终的胶膜厚度和均匀程度可控，缩短了涂胶时间，提高了劳动效率和成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 硅片 匀胶机用 涂胶 装置 | ||
【主权项】：
一种自动硅片匀胶机用涂胶装置，包括胶管（1）、点胶机（2）、真空吸盘(3)、调速电机（4）、升降气缸（5）、主轴套管（6）、升降板（7）、导轨（8）和滑块（9），其特征在于：导轨（8）固定在自动硅片匀胶机下侧机板上，升降气缸（5）通过滑块（9）固定于导轨（8）上并顶住升降板（7）控制升降板（7）上下运动，升降板（7）通过主轴套管（6）与真空吸盘(3)连接，控制真空吸盘(3) 的上下运动，调速电机（4）与真空吸盘(3)主轴相连，控制真空吸盘(3) 的转速，真空吸盘(3)置于自动硅片匀胶机的工作台的点胶工位上，胶管（1）固定于点胶机（2）上，点胶机（2）固定于自动硅片匀胶机的工作台上，使胶管（1）正对准真空吸盘（3）中心点。
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