[发明专利]压印装置、压印方法和制造物品的方法有效
| 申请号： | 201510885990.6 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN105700291B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 相原泉太郎;上野武彦 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了压印装置、压印方法和制造物品的方法。本发明提供了执行利用模具在基板上形成压印材料的图案的压印处理的压印装置，该装置包括：被配置成感测模具和基板当中至少一个并且获得图像的图像感测单元，以及被配置成确定压印处理的正常/异常的确定单元，其中，压印处理包括将压印材料供给到基板上的第一步骤以及使模具和基板上的压印材料彼此接触的第二步骤，并且确定单元针对压印处理的每个步骤改变确定压印处理的正常/异常的基准并且基于由图像感测单元感测到的图像来确定压印处理的正常/异常。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 方法 制造 物品 | ||
【主权项】：
一种执行利用模具在基板上形成压印材料的图案的压印处理的压印装置，其特征在于，所述装置包括：图像感测单元，被配置成感测模具和基板当中至少一个并且获得图像；以及确定单元，被配置成确定压印处理的正常/异常，其中，压印处理包括将压印材料供给到基板上的第一步骤，以及使模具和基板上的压印材料彼此接触的第二步骤，并且确定单元针对压印处理的每个步骤改变确定压印处理的正常/异常的基准并且基于由图像感测单元感测到的图像来确定压印处理的正常/异常。
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