[发明专利]具有层压自由层的自旋转移转矩隧道磁阻装置

摘要

一种自旋转移转矩磁结包含具有垂直于衬底平面的磁各向异性的磁性基准层结构。层压磁性自由层包括至少三个子层(例如，CoFeB、CoPt、FePt或CoPd的6埃至30埃的子层)，所述至少三个子层具有垂直于所述衬底平面的磁各向异性。每个此类子层通过钽除尘层与相邻子层分离。绝缘阻挡层(例如，MgO)设置在层压自由层和磁性基准层结构之间。自旋转移转矩磁结包括导电基电极和导电顶电极，以及具有平行于衬底平面的磁各向异性的电流极化结构。在某些实施例中，电流极化结构也可以包括非磁性分隔层(例如，MgO、铜等)。

主权项

1.一种自旋转移转矩磁结，其包括：限定衬底平面的导电基电极层；磁性基准层结构，其设置在所述基电极层上并具有垂直于所述衬底平面的磁各向异性；绝缘阻挡层，其设置在所述磁性基准层结构上；层压磁性自由层，其设置在所述绝缘阻挡层上并具有垂直于所述衬底平面的磁各向异性；电流极化结构，其设置在所述层压磁性自由层上并且具有平行于所述衬底平面的磁各向异性；导电顶电极层，其设置在所述电流极化结构上；其中所述层压磁性自由层包括至少三个CoFeB子层，每个CoFeB子层具有的厚度在6埃至16埃的范围内并且通过多个钽除尘层之一与相邻CoFeB子层分离。