[发明专利]一种扫描电子显微图像的三维重构方法有效
| 申请号： | 201510891707.0 | 申请日： | 2015-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN105590338B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 张利斌;粟雅娟;韦亚一 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06T17/00 | 分类号： | G06T17/00 |
| 代理公司： | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描电子显微图像的三维重构方法，其中，包括步骤：提供微纳结构；获取微纳结构的扫描电子显微图像；根据所述扫描电子显微图像获取三维结构粗略图；根据所述扫描电子显微图像构建反射电子强度数据库；根据所述反射电子强度数据库对所述三维结构粗略图进行修正，获取三维结构修正图；获取所述微纳结构的边界信息并根据该边界信息对所述三维结构修正图进行修正从而得到三维结构精细图。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 电子 显微 图像 三维 方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电子显微图像的三维重构方法，其中，包括步骤：提供微纳结构；获取微纳结构的扫描电子显微图像；根据所述扫描电子显微图像获取三维结构粗略图；根据所述扫描电子显微图像构建反射电子强度数据库，所述反射电子强度数据库包括不同尺寸、不同周期的图形在扫描电子显微成像后的成像图和像素值；根据所述反射电子强度数据库对所述三维结构粗略图进行修正，获取三维结构修正图；获取所述微纳结构的边界信息并根据该边界信息对所述三维结构修正图进行修正从而得到三维结构精细图。
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