[发明专利]一种多结太阳能电池的集成旁路二极管的制备方法有效
申请号: | 201510894699.5 | 申请日: | 2015-12-08 |
公开(公告)号: | CN105514207B | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 刘冠洲;毕京锋;熊伟平;李明阳;杨美佳;宋明辉;李森林;陈文浚 | 申请(专利权)人: | 天津三安光电有限公司 |
主分类号: | H01L31/0725 | 分类号: | H01L31/0725;H01L31/074;H01L31/0443;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300384 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种多结太阳能电池的集成旁路二极管的制备方法,包括以下步骤在衬底上形成多结太阳能电池外延结构;形成太阳能电池制作区域与旁路二极管制作区域之间的隔离槽;对旁路二极管制作区域的外延层进行特定能量的离子注入,使其多结子电池中的至少一个子电池pn结的掺杂情况被改变;对上述旁路二极管制作区域的外延层进行特定波长的强光照射,使其多结子电池中的至少一个子电池pn结受到高温退火处理;制备太阳能电池与旁路二极管的正面、背面电极与减反射膜;按照互联规则封装太阳能电池与旁路二极管。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 集成 旁路 二极管 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种多结太阳能电池的集成旁路二极管的制备方法,其步骤包括:1)在衬底上形成多结太阳能电池外延层结构;2)形成太阳能电池制作区域与旁路二极管制作区域之间的隔离槽;3)对旁路二极管制作区域的外延层进行离子注入,控制离子注入的深度,使得旁路二极管制作区域的多结子电池中的至少一个子电池pn结的掺杂情况被改变;4)对上述旁路二极管制作区域的外延层进行特定波长的强光照射,使得旁路二极管制作区域的多结子电池中的至少一个子电池pn结受到高温退火处理;5)制备太阳能电池与旁路二极管的正面、背面电极与减反射膜;6)按照互联规则封装太阳能电池与旁路二极管。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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