[发明专利]一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置

摘要

本发明涉及热处理装置领域，具体为一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置。本发明是通过下述技术方案实现的：一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置，包括真空箱和排真空装置组成，其特征是所述真空箱有内外三层组成，由内到外为真空处理箱、加热传热层、外密封舱，所述真空处理箱内设置有若干层退火架、退火架下方设置氮气管、液氮气管和冷水管，氮气管设置有氮气出气孔，液氮气管和冷水管为全密封管道，平行设置互不交叉或贴近，两者都贴设在退火架下方与退火架连接为一体。

主权项

1.一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置，包括真空箱（1）和排真空装置（2）组成，其特征是所述真空箱有内外三层组成，由内到外为真空处理箱（3）、加热传热层（4）、外密封舱（5），所述真空处理箱内设置有若干层退火架（6）、退火架下方设置氮气管（7）、液氮气管（8）和冷水管（9），氮气管设置有氮气出气孔，液氮气管和冷水管为全密封管道，平行设置互不交叉或贴近，两者都贴设在退火架下方与退火架连接为一体；所述氮气管还设置有氮气进出安全装置（10），由氮气储存装置（11）、解压装置（12）、调压排送装置（13）、排真空回收和发散装置（14）组成；其中所述氮气储存装置串联到解压装置，调压排送装置设置在真空箱外，通过内排送管连接真空箱内的排真空回收和发散装置，所述解压装置由设置在氮气送气管入口（15）的过滤阀（16）和送气减压阀（17）组成，后设置的输气管（18）连接到调压排送装置，调压排送装置由T型输气管（19）和设置在T型输气管左边的压力泵（20）和右边的适压泵（21）组成，适压泵通过内排送管（22）连接到真空箱内的回收和排真空装置上，所述排真空回收和发散装置至少由五组排真空回收和发散泵（23）组成，其中至少2组为氮气排真空回收和发散泵（24），2组为空气排真空回收和发散泵（25），1组为空气辅助排真空回收和发散泵（26），所述排真空回收和发散泵的所有进出气管都串联在主抽气管（27a）和主排放管（27b）上；所述氮气排真空回收和发散泵由调压泵（28）、解压泵（29）、氮气过滤装置（30）、氮气储存筒（31）组成，所述空气辅助排真空回收和发散泵由空气调压泵（32）、空气解压泵（33），空气过滤装置（34）、空气排出泵（35）组成；所述加热传热层为贴附包裹着真空处理箱的金属层，加热传热层的层壁上设置若干加热管（41），加热管后方的外密封舱和加热传热层之间是中空层（42），中空层中设置若干水冷管道；所述中空层、冷水管、真空处理箱都连接抽真空装置；所述中空层、真空处理箱还连接空气辅助排真空回收和发散泵；所述氮气排真空回收和发散泵串联氮气储存筒。