[发明专利]氢气自动供应集成控制系统有效
| 申请号： | 201510897134.2 | 申请日： | 2015-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN105350014B | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 金龙;朱普林;谭卫东 | 申请（专利权）人： | 南京国盛电子有限公司 |
| 主分类号： | C25B1/04 | 分类号： | C25B1/04;C25B9/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 陈静 |
| 地址： | 211100 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氢气自动供应集成控制系统，包括制氢设备、一级纯化设备、缓冲罐、二级纯化设备、氢气压缩机、汇流排钢瓶组和减压稳流装置，制氢设备产出的氢气经一级纯化设备进入缓冲罐，再经二级纯化设备输出；制氢设备产出的多余氢气经一级纯化设备进入氢气压缩机，经氢气压缩机压缩后储存至汇流排钢瓶组；汇流排钢瓶组中储存的氢气经减压稳流装置的减压后进入缓冲罐，再经二级纯化设备输出。本发明实现了制氢设备端与汇流排钢瓶组两种供气途径的自动切换，降低产氢的成本同时确保了氢气供应压力和流量的稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 氢气 自动 供应 集成 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种应用于半导体外延工艺的氢气自动供应集成控制系统，其特征在于，包括制氢设备、一级纯化设备、缓冲罐、二级纯化设备、氢气压缩机、汇流排钢瓶组和减压稳流装置，所述制氢设备产出的氢气经一级纯化设备进入缓冲罐，再经二级纯化设备输出；制氢设备产出的多余氢气经一级纯化设备进入氢气压缩机，经氢气压缩机压缩后储存至汇流排钢瓶组；汇流排钢瓶组中储存的氢气经减压稳流装置的减压后进入缓冲罐，再经二级纯化设备输出；还包括氢气压力控制系统，所述氢气压力控制系统包括上位机和多个控制单元，每个控制单元分别与上位机相连，所述控制单元包括压力变送器和气动阀，一级纯化设备与缓冲罐之间、一级纯化设备与氢气压缩机之间以及减压稳流装置与缓冲罐之间均设有控制单元。
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