[发明专利]多晶硅铸锭炉中高温液态硅中籽晶高度的测量装置在审
| 申请号： | 201510898729.X | 申请日： | 2015-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN105424135A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 周社柱 | 申请（专利权）人： | 山西中电科新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/00 | 分类号： | G01F23/00 |
| 代理公司： | 山西科贝律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030032 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭炉中高温液态硅中籽晶高度的测量装置，解决了多晶硅铸锭半熔工艺中测量铸锭炉中底部籽晶高度时偏差大和测量成本高的问题。包括在多晶硅铸锭炉炉体顶盖（5）的测量孔（12）上设置有测量支架（13），在测量支架（13）上分别设置有伺服电机（11）和导向轮（4），在伺服电机（11）的输出轴上设置有碳绳收放轮（1），碳绳（2）的一端缠绕在碳绳收放轮（1）上，在碳绳（2）的另一端的端部吊接有氮化硅测晶棒（6），在测量支架（13）上分别设置有碳绳（2）的张力传感器（9）和氮化硅测晶棒（6）的光电位置传感器（10）。本发明具有操作简单，测量迅速准确，成本低廉的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 高温 液态 籽晶 高度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉中高温液态硅中籽晶高度的测量装置，包括多晶硅铸锭炉中的固态籽晶（8），在固态籽晶（8）上设置有液态硅（7），其特征在于，在多晶硅铸锭炉炉体顶盖（5）上设置有测量孔（12），在测量孔（12）上设置有测量支架（13），在测量支架（13）上分别设置有伺服电机（11）和导向轮（4），在伺服电机（11）的输出轴上设置有碳绳收放轮（1），碳绳（2）的一端缠绕在碳绳收放轮（1）上，碳绳（2）的另一端依次通过导向轮（4）和测量孔（12）后伸入到多晶硅铸锭炉中，在碳绳（2）的另一端的端部吊接有氮化硅测晶棒（6）， 在测量支架（13）上分别设置有碳绳（2）的张力传感器（9）和氮化硅测晶棒（6）的光电位置传感器（10）。
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