[发明专利]一种针对SF6设备微水超标的处理工艺

摘要

本发明涉及一种针对SF₆设备微水超标的处理工艺，在充氮气冲洗SF₆设备之前，利用气体温控系统将氮气加热到98℃-102℃；充入SF₆设备进行冲洗30min，冲洗后再用真空导管将氮气排出，冲洗两次；给SF₆设备充入SF₆气体，并做气压及微水测试，充SF₆气体至SF₆设备的额定压力。使用本发明所述的处理工艺，能够有效缩短氮气在SF₆设备内的静置时间，减少氮气冲洗环节的冲洗次数，从而提高SF₆设备微水超标的处理效果和处理效率，并能够有效抑制线圈类设备微水超标处理的微水含量发生反弹。

主权项

一种针对SF₆设备微水超标的处理工艺，其特征在于，包括以下工艺步骤：(1)先将SF₆设备中的SF₆气体进行回收；(2)在充氮气冲洗SF₆设备之前，利用气体温控系统将氮气加热到98℃‑102℃；(3)将加热后的氮气充入SF₆设备进行冲洗，冲洗后再用真空导管将氮气排出；再重复此步骤1次；(4)给SF₆设备充入SF₆气体，并做气压及微水测试，充SF₆气体至SF₆设备的额定压力。