[发明专利]一种提高直拉硅单晶拉速的结构在审
| 申请号： | 201510904659.4 | 申请日： | 2015-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN105483820A | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 王林;高润飞;宋都明;陈建梅;张寿星;张颂越;王淼 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提高直拉硅单晶炉拉速的结构，包括热屏上内胆、碳毡、热屏外胆、热屏下内胆，热屏下内胆为上口小、下口大的锥形斜面，与坩埚内硅熔液液面夹角为45-90°，热屏上内胆、热屏下内胆与热屏外胆之间填充碳毡，热屏上内胆、热屏下内胆材质选用钼、石墨或石英，技术效果是，结构简单，明显提高拉速，对RRV有改善效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 直拉硅单晶拉速 结构 | ||
【主权项】：
一种提高直拉硅单晶拉速的结构，包括热屏上内胆（2）、碳毡（3）、热屏外胆（4）、热屏下内胆（5），其特征在于：热屏下内胆（5）为上口小、下口大的锥形斜面，与坩埚（6）内硅熔液液面夹角为45‑90°，热屏上内胆（2）、热屏下内胆（5）与热屏外胆（4）之间填充碳毡（3），热屏上内胆（2）、热屏下内胆（5）材质选用钼、石墨或石英。
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