[发明专利]一种直拉重掺砷低电阻硅单晶的装置在审
| 申请号： | 201510904680.4 | 申请日： | 2015-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN105369346A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 王林;高润飞;宋都明;陈建梅;张寿星;张颂越;王淼 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种重掺砷低电阻硅单晶的装置，包括热屏内胆、热屏外胆、石英锅、碳毡、石英环、石英环导向管，石英环为用石英拉制出一石英管和在其上有数根石英环导气管导通管，且数根石英环导气管相对石英管成垂直弯曲，热屏内胆、碳毡、热屏外胆上有与石英环导气管数量相同的通孔，石英环导向管固定于孔内，使石英环导向管外壁距石英锅内壁20-100mm,石英环导气管插于石英环导向管内并可自由滑动，使用时，砷置于石英管内，通过在炉盖上安装的提升装置使石英环上下升降于石英锅内硅熔液液面之上，技术效果是，结构简单，改造容易，通过石英环的上下升降，让重掺砷杂质的挥发速率能够满足低阻的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉重掺砷低 电阻 硅单晶 装置 | ||
【主权项】：
一种直拉重掺砷低电阻硅单晶的装置，包括热屏内胆（1）、热屏外胆（2）、石英锅（3）、碳毡（4）、石英环（5）、石英环导向管（6），其特征在于：石英环（5）为用高纯石英拉制出的石英管（5‑1）和在其上有数根石英环导气管（5‑2）导通管，且数根石英环导气管（5‑2）相对石英管（5‑1）成垂直弯曲，热屏内胆（1）、碳毡（4）、热屏外胆（2）上有与石英环导气管（5‑2）数量相同的通孔，石英环导向管（6）固定于孔内，使石英环导向管（6）外壁距石英锅（3）内壁20‑100mm,石英环导气管（5‑2）插于石英环导向管（6）内并可自由滑动，使用时，砷置于石英管（5‑1）内，通过在炉盖上安装的提升装置使石英环上下升降于石英锅（3）内硅熔液液面之上。
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