[发明专利]电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺在审
| 申请号： | 201510905584.1 | 申请日： | 2015-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN105441877A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 谢泉;谢晶;刘栋;高赐国;张晋敏;肖清泉;陈茜;廖杨芳;范梦慧;黄晋 | 申请（专利权）人： | 贵州大学 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/16;C23C14/58 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 吴无惧 |
| 地址： | 550025 贵州*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺，其特征在于：它包括下述步骤：第一步骤，选取耐高温石英片和单晶Si片作衬底，清洗吹干；第二步骤，将铁颗粒和硅颗粒按不同配比进行备料；第三步骤，按上述步骤得到的不同配比镀料，在衬底上蒸镀一层Fe-Si混合薄膜；第四步骤，将上述步骤得到的样品放置于高真空热处理炉中800～900℃退火2小时获得Fe-Si化合物中的金属相Fe3Si铁磁性薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 蒸发 制备 铁磁性 材料 fe3si 薄膜 工艺 | ||
【主权项】：
一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺，其特征在于：它包括下述步骤：第一步骤，选取耐高温石英片和单晶Si片作衬底，清洗吹干；第二步骤，将铁颗粒和硅颗粒按不同配比进行备料；第三步骤，按上述步骤得到的不同配比镀料，在衬底上蒸镀一层Fe‑Si混合薄膜；第四步骤，将上述步骤得到的样品放置于高真空热处理炉中800～900℃退火2小时获得Fe‑Si化合物中的金属相Fe3Si铁磁性薄膜。
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