[发明专利]电感结构及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201510907939.0 申请日: 2015-12-09
公开(公告)号: CN106856142B 公开(公告)日: 2018-10-16
发明(设计)人: 程仁豪;高金凤;王西宁;钟琳 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01F27/28 分类号: H01F27/28;H01F27/29;H01F41/00;H01F41/04;H01F41/12
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 吴敏
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种电感结构及其制作方法,电感结构,包括:底部环状金属层,包括相连接的第一接口、第一金属体层和第二接口;位于底部环状金属层层上方的中间金属层,包括相连接的第三接口、第二金属体层和第四接口,所述第二金属体层从第三接口呈螺旋环状延伸至第三接口,其中所述第三接口位于螺旋环内,第三接口与第二接口电连接,第四接口作为电感结构的输出端;位于中间金属层层上方的顶部环状金属层,包括相连接的第五接口、第三金属体层和第六接口,所述第六接口与中间金属层的第三接口电连接,所述第五接口与底部环状金属层的第一接口电连接一起作为电感结构的输入端。本发明的电感结构在保证品质因子,减小占据的面积,并保证电感电性的对称性能。
搜索关键词: 电感 结构 及其 制作方法
【主权项】:
1.一种电感结构,其特征在于,包括:底部环状金属层,所述底部环状金属层包括相连接的第一接口、第一金属体层和第二接口,所述第一金属体层从第一接口呈环状延伸至第二接口;位于底部环状金属层上方的中间金属层,底部环状金属层与中间金属层相互平行,所述中间金属层包括相连接的第三接口、第二金属体层和第四接口,所述第二金属体层从第三接口呈螺旋环状延伸至第四接口,其中所述第三接口位于螺旋环内,第三接口与底部环状金属层的第二接口电连接,第四接口作为电感结构的输出端;位于中间金属层层上方的顶部环状金属层,所述顶部环状金属层与中间金属层相互平行,所述顶部环状金属层包括相连接的第五接口、第三金属体层和第六接口,所述第三金属体层从第五接口呈环状延伸至第六接口,所述第六接口与中间金属层的第三接口电连接,所述第五接口与底部环状金属层的第一接口电连接一起作为电感结构的输入端。
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