[发明专利]一种生成铝离子束的离子源在审
| 申请号： | 201510912748.3 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN105448630A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 易文杰;彭立波;孙雪平;罗臻;袁卫华;钟新华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 周长清 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生成铝离子束的离子源，包括：弧室，用于在内部生成等离子体的容器兼作为阳极；所述弧室内导入含氟可电离气体；阴极结构件，设置在弧室内的一侧，与弧室实现电绝缘并且向弧室内放出热电子；反射极结构件，设置在弧室内与阴极结构件相对的一侧，用来反射弧室内的电子；磁铁，用来在弧室内产生磁场。本发明具有结构简单紧凑、提高电离效率、延长热阴极灯丝使用寿命等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生成 离子束 离子源 | ||
【主权项】：
一种生成铝离子束的离子源，其特征在于，包括：弧室（1），用于在内部生成等离子体（5）的容器兼作为阳极；所述弧室（1）内导入含氟可电离气体（7）；阴极结构件（2），设置在弧室（1）内的一侧，与弧室（1）实现电绝缘并且向弧室（1）内放出热电子；反射极结构件（3），设置在弧室（1）内与阴极结构件（2）相对的一侧，用来反射弧室（1）内的电子；磁铁（11），用来在弧室（1）内产生磁场（12）。
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