[发明专利]氢气传感器芯体用介质材料、氢气传感器芯体及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 201510915123.2 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN105466976A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 陈浩;谢贵久;陈伟;白庆星;龚星 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 周长清 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氢气传感器芯体用介质材料、氢气传感器芯体及其制备方法与应用。氢气传感器芯体用介质材料为氧化锌；氢气传感器芯体依次包括基片、第一介质层和氢气敏感层，所述第一介质层为氧化锌薄膜层。其制备方法包括以下步骤：（1）先清洗基片表面，再去除基片表面的自然氧化层；（2）在基片表面制备氧化锌薄膜层；（3）在氧化锌薄膜层上制备氢气敏感层。本发明的氢气传感器芯体具有检测氢气浓度的下限低、响应时间和脱氢时间较短等优点，制备方法具有成本低廉、制备工艺简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 氢气 传感器 体用 介质 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种氢气传感器芯体用介质材料，其特征在于，所述氢气传感器芯体用介质材料为氧化锌。
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