[发明专利]消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统和方法在审
申请号: | 201510918230.0 | 申请日: | 2015-12-10 |
公开(公告)号: | CN105403537A | 公开(公告)日: | 2016-03-16 |
发明(设计)人: | 李宗涛;陈家晓;汤勇;梁观伟;万珍平;袁伟 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | G01N21/47 | 分类号: | G01N21/47 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 陈宏升 |
地址: | 510075 广东省广州市越秀区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统和方法,所述系统包括激光光源、棱柱形反射镜、激光功率计探头、激光功率计、电机传动模块、运动控制卡、BSDF信号探头、BSDF信号处理器、PC机和遮光套筒。对被测样品进行BSDF测量时,在每个测量点测量之前,由电机传动模块驱动棱柱形反射镜转动,使其反射激光光源的光路至激光功率计中测量激光功率的变化,再传输到PC机中根据变化情况校正该测量点的BSDF结果,从而消除激光光源功率变化所引起的误差。 | ||
搜索关键词: | 消除 bsdf 测量 激光 光源 功率 变化 误差 系统 方法 | ||
【主权项】:
消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,其特征在于包括激光光源、棱柱形反射镜、激光功率计探头、激光功率计、电机传动模块、运动控制卡、BSDF信号探头、BSDF信号处理器、PC机和遮光套筒;所述激光光源、棱柱形反射镜、电机传动模块、激光功率计探头安装在所述遮光套筒中;所述棱柱形反射镜位于所述激光光源出光口的前端处,且其中心轴与所述电机传动模块的输出轴同心连接,并由所述电机传动模块驱动进行旋转;所述棱形反射镜在旋转的过程中,先使激光光路反射到所述激光功率计探头中测得激光此时的实际功率与其额定参考功率之间的偏差值,再使激光光路顺利通过并穿出所述遮光套筒的出光孔照射到被测样品表面进行BSDF测量,并按照所述激光光源功率的偏差值对测量结果进行相应的修正。
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