[发明专利]双头平面研磨装置

摘要

本发明涉及一种双头平面研磨装置。本发明要解决的问题是即使在工件的研磨中产生了振动，也使工件保持体不易从研磨时位置移位。为解决上述问题，在本发明中，在第一工件保持体(30)和第二工件保持体(40)上设有多根止挡螺栓(62)。在内部壳体(8)上设有供止挡螺栓(62)的顶端部抵接的多个止挡块(63)。多根止挡螺栓(62)中的至少一根止挡螺栓(62)的顶端部相对于其它止挡螺栓(62)的顶端部朝滑动方向偏移。在止挡螺栓(62)与止挡块(63)抵接的研磨时位置，第一工件保持体(30)和第二工件保持体(40)以与止挡螺栓(62)的顶端部偏移的量相应地相对于引导杆(51)的轴向倾斜了的形态被定位。

主权项

1.一种双头平面研磨装置，其具备：第一工件保持体和第二工件保持体，该第一工件保持体和该第二工件保持体以夹住薄板状工件的方式布置着，并且该第一工件保持体和该第二工件保持体保持该工件；多根引导杆，这些引导杆支承着上述第一工件保持体和上述第二工件保持体，使该第一工件保持体和该第二工件保持体能够滑动；第一气缸和第二气缸，该第一气缸和该第二气缸使上述第一工件保持体和上述第二工件保持体沿着上述引导杆滑动；以及一对磨石，上述磨石对由上述第一工件保持体和上述第二工件保持体保持的上述工件的两面上的被研磨面进行研磨，上述双头平面研磨装置的特征在于：上述双头平面研磨装置具备多个定位部件，在对上述工件的被研磨面进行研磨前，这些定位部件用来以所述第一工件保持体和所述第二工件保持体中的至少一方在研磨时位置处相对于所述引导杆的轴向倾斜了的形态将该第一工件保持体和该第二工件保持体中的该至少一方定位，该研磨时位置是由该第一工件保持体和该第二工件保持体保持所述工件的位置。