[发明专利]一种基于硅基的窄线宽可调外腔激光器

摘要

本发明公开了一种基于硅基的窄线宽可调外腔激光器，涉及光通信的集成光学领域。该激光器的光源通过硅基光耦合器与第一MMI相连；第一MMI分别与非对称马赫‑曾德干涉仪的2个臂的输入端相连，2个臂的输出端通过第二MMI与第三MMI相连；第三MMI分别与硅基微环滤波器上下话路的输入端相连；上下话路的输出端分别与第一光栅耦合器、第二光栅耦合器相连。硅基微环滤波器的自由光谱范围为5～50nm，非对称马赫‑曾德干涉仪的自由光谱范围为硅基微环滤波器的自由光谱范围的1～4倍。本发明能够增大宽波长的调谐范围，保证激光得到窄线宽；本发明为小型化腔激光器，不仅制造成本较低，而且易于集成，工艺容差较小，适于推广。

主权项

1.一种基于硅基的窄线宽可调外腔激光器，包括光源(101)、硅基光耦合器(102)、硅基微环滤波器(107)和2个光栅耦合器：第一光栅耦合器(108)和第二光栅耦合器(109)；其特征在于：所述可调外腔激光器还包括非对称马赫‑曾德干涉仪(104)、以及3个多模干涉仪MMI：第一MMI(103)、第二MMI(105)和第三MMI(106)；所述非对称马赫‑曾德干涉仪(104)上设置有2个不对称的臂，所述硅基微环滤波器(107)采用上下话路型微环谐振腔，硅基微环滤波器(107)设置有2个监测端口；所述光源(101)的输出端与硅基光耦合器(102)的输入端相连，硅基光耦合器(102)的输出端与第一MMI(103)的输入端相连；第一MMI(103)的输出端分别与非对称马赫‑曾德干涉仪(104)的2个臂的输入端相连，2个臂的输出端与第二MMI(105)的输入端相连；第二MMI(105)的输出端与第三MMI(106)的输入端相连，第三MMI(106)的输出端分别与硅基微环滤波器(107)上下话路的输入端相连；上下话路的输出端分别与第一光栅耦合器(108)、第二光栅耦合器(109)相连；第一光栅耦合器(108)和第二光栅耦合器(109)分别位于硅基微环滤波器(107)的2个监测端口；所述硅基微环滤波器(107)的自由光谱范围为5～50nm，所述非对称马赫‑曾德干涉仪(104)的自由光谱范围为硅基微环滤波器(107)的自由光谱范围的1～4倍。