[发明专利]一种C向蓝宝石抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 201510919953.2 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN105462504A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 周群飞;饶桥兵;许立军 | 申请（专利权）人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 长沙七合源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 郑隽;周晓艳 |
| 地址： | 410311 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明的第一目的在于提供一种C向蓝宝石抛光液，包括以下组分：硅溶胶、助抛光剂、络合剂、氧化剂、表面活性剂、保湿剂、pH调节剂以及水。本发明具有以下效果：利用氧化剂将晶片表面氧化成较软的氧化层；利用硅溶胶将晶片表面所形成的较软氧化层除掉，提高抛光效率；利用助抛光剂降低晶体表面粗糙度；利用络合剂减少杂质离子的污染；利用表面活性剂便于清洗去除；利用保湿剂大大减少抛光过程中的结晶；利用pH调节剂调节抛光液体系PH值以及抛光过程的化学作用。本发明的第二目的在于提供一种C向蓝宝石抛光液的制备方法，具有工艺步骤精简、工艺参数容易控制以及适合大规模生产的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种C向蓝宝石抛光液，其特征在于，以重量份数计其原料包括以下组分：硅溶胶90‑95份、助抛光剂0.2‑2份、络合剂0.5‑1份、氧化剂0.08‑1份、表面活性剂0.5‑1份、保湿剂3‑6份、pH调节剂0.5‑2份以及水1.0‑3.2份。
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