[发明专利]一种基于SDD探测器的X射线荧光分析系统

摘要

本发明公开了一种基于SDD探测器的X射线荧光分析系统。使用本发明能够有效产生X射线荧光，并对X射线荧光光谱进行分析，且能量分辨率高，噪声低。本发明的X射线荧光分析系统包括荧光产生子系统、SDD探测器和电子学读出子系统，其中，荧光产生子系统采用包括同位素激发源作为X射线源，采用掠入射方法产生荧光；SDD探测器将样品产生X荧光转换成微弱的电信号，电子学读出子系统包括前置放大器、成形放大模块、MCA多道分析仪、高压模块、制冷模块和供电模块，对SDD探测器的电信号进行成形放大，并提取X射线荧光光谱，并为SDD探测器提供反偏工作高压和低温工作环境。

主权项

一种基于SDD探测器的X射线荧光分析系统，其特征在于，包括荧光产生子系统、SDD探测器和电子学读出子系统，其中，荧光产生子系统用于产生X射线荧光，包括同位素激发源和样品，其中，同位素激发源出射的X射线与样品表面的夹角小于全反射临界角；SDD探测器位于样品表面正上方，接收样品发出的X射线荧光，并将X射线荧光转换为电信号后输出至电子学读出子系统；电子学读出子系统对SDD探测器的电信号进行成形放大，并提取X射线荧光光谱；其中，电子学读出子系统包括前置放大器、成形放大模块、MCA多道分析仪、高压模块、制冷模块和供电模块；其中，前置放大器与SDD探测器连接，对SDD探测器产生的电信号进行提取放大；成形放大模块与前置放大器连接，对前置放大器的输出信号进行高斯整形和放大；MCA多道分析仪与成形放大模块连接，对成形放大模块输出的高斯信号进行多通道AD采集，提取X射线荧光的能谱分布送至计算机，用于分析；高压模块与SDD探测器连接，为SDD探测器提供反偏工作电压；制冷模块与SDD探测器连接，为SDD探测器提供低温工作环境；供电模块为前置放大器、成形放大模块、高压模块和制冷模块供电。