[发明专利]脉冲射频等离子体的阻抗匹配方法和装置

摘要

本发明公开了一种脉冲射频等离子体的阻抗匹配方法和装置。该方法和装置中，等离子体阻抗匹配过程不局限于一个脉冲周期内，不论是高射频功率阶段等离子体阻抗匹配过程还是低射频功率阶段的等离子体阻抗匹配过程均可以在不同脉冲周期内进行，因此，本发明提供的方法不受脉冲周期的限制，即使针对高脉冲频率的脉冲射频等离子体也可以分别搜寻到分别与高、低射频功率阶段的等离子体相匹配的射频频率。

主权项

1.一种脉冲射频等离子体的阻抗匹配方法，其特征在于，提供脉冲式射频功率到等离子反应腔，所述脉冲式射频功率包括多个脉冲周期，每个脉冲周期内包括高射频功率阶段，所述方法包括高射频功率阶段的等离子体阻抗匹配过程；所述高射频功率阶段的等离子体阻抗匹配过程包括：在第i脉冲周期内的高射频功率阶段设定第一射频频率，获取与所述第一射频频率相应的阻抗参数的第一数值；所述阻抗参数为与等离子反应腔负载阻抗相关的任一参数；所述阻抗参数与射频频率的关系呈非线性函数关系，所述非线性函数为具有极小值的非线性函数；在第j个脉冲周期内的高射频功率阶段设定第二射频频率，获取与所述第二射频频率相应的阻抗参数的第二数值；比较第一射频频率和第二射频频率的大小，得到第一比较结果，比较第一数值和第二数值的大小，得到第二比较结果；根据第一比较结果和第二比较结果，调整第k个脉冲周期的高射频功率阶段的射频频率，直到调整后的射频频率对应的阻抗参数达到最小值；确定阻抗参数最小值对应的射频频率为与射频功率等离子体的阻抗相匹配的射频频率；其中，i＜j＜k，且i、j、k均为正整数。