[发明专利]工艺异因分析方法与工艺异因分析系统

摘要

工艺异因分析方法与工艺异因分析系统。该工艺异因分析方法包括获得多个产品的工艺数据。上述方法还包括使用非概率类型分类器及概率类型分类器的至少其中之一对工艺数据作运算，以获得每一工艺参数的贡献度。上述方法还包括判断分类器正确率是否大于阈值。上述方法还包括，若分类器正确率大于阈值时，对工艺参数进行一删除操作以删除具有最低的贡献度的工艺参数，并再次使用非概率类型分类器及概率类型分类器的至少其中之一对工艺数据运算；以及若分类器正确率不大于阈值时，将工艺参数设定为关键工艺参数。

主权项

一种工艺异因分析方法，其特征在于，包括：获得多个产品的工艺数据，该工艺数据包括对应这些产品的多个工艺参数及产品质量参数；使用非概率类型分类器及概率类型分类器的至少其中之一对该工艺数据作运算，以获得每一这些工艺参数的贡献度；判断分类器正确率是否大于阈值；若该分类器正确率大于该阈值时，对这些工艺参数进行删除操作以删除具有最低的该贡献度的工艺参数，并再次使用该非概率类型分类器及该概率类型分类器的至少其中之一对该工艺数据运算，以获得每一这些工艺参数的该贡献度；以及若该分类器正确率不大于该阈值时，将这些工艺参数设定为关键工艺参数。