[发明专利]绒面结构的TCO薄膜、其制备方法及薄膜太阳能电池

摘要

本发明提供了一种绒面结构的TCO薄膜、其制备方法及薄膜太阳能电池。该TCO薄膜由下至上依次包括减反射膜和BZO绒面层。该TCO薄膜通过增加了减反射膜，而且将减反射膜设置在BZO薄膜的下面，使得入射光经过具有绒面结构的BZO薄膜层之后，散射能力得到提高，然后再经过减反射膜，反射作用明显降低，进而提高了薄膜太阳能电池对入射光的利用效率，从而提高了薄膜太阳能电池的光电转换效率。

主权项

一种绒面结构的TCO薄膜，其特征在于，所述TCO薄膜由下至上依次包括：减反射膜和BZO绒面层。