[发明专利]位置检测装置和方法、透镜和机床装置、图像拾取系统有效
| 申请号： | 201510932843.X | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN105716636B | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 名仓千裕 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01D5/347 | 分类号： | G01D5/347 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 宿小猛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及位置检测装置和方法、透镜和机床装置、图像拾取系统。该检测对象的位置的位置检测装置(100)包括：包含周期性图案的刻度尺(2)；被配置为可相对于刻度尺移动的检测器(7)；和被配置为基于来自检测器的第一输出信号获取对象的位置信息并且基于来自检测器的第二输出信号执行异常确定的信号处理器(101)，第一输出信号的空间频率响应在第一空间频率处出现峰值，并且第二输出信号的空间频率响应在与第一空间频率不同的第二空间频率处出现峰值。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 检测 装置 方法 透镜 机床 图像 拾取 系统 | ||
【主权项】：
1.一种检测对象的位置的位置检测装置，所述位置检测装置包括：刻度尺，包含周期性图案；检测器，被配置为输出第一输出信号和第二输出信号，检测器和刻度尺能够彼此相对地移动；其特征在于，所述位置检测装置包含：信号处理器，被配置为基于来自检测器的第一输出信号来获取对象的位置信息并且基于来自检测器的第二输出信号来确定刻度尺上是否存在缺陷，其中，第一输出信号的空间频率响应在第一空间频率处出现峰值，并且，第二输出信号的空间频率响应在与第一空间频率不同的第二空间频率处出现峰值。
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