[发明专利]用于形成二氧化硅层的组成物、用于制造二氧化硅层的方法、二氧化硅层以及电子装置有效

专利信息
申请号: 201510940597.2 申请日: 2015-12-16
公开(公告)号: CN106147604B 公开(公告)日: 2019-05-14
发明(设计)人: 李殷善;金佑翰;尹熙灿;裴鎭希;黄丙奎 申请(专利权)人: 三星SDI株式会社
主分类号: C09D183/16 分类号: C09D183/16;C09D1/00;H01L21/02
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 陶敏;臧建明
地址: 韩国京畿道龙仁*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明涉及一种用于形成二氧化硅层的组成物、用于制造二氧化硅层的方法、二氧化硅层以及电子装置。所述用于形成二氧化硅层的组成物包含含硅聚合物和溶剂,其中所述含硅聚合物在1H‑NMR光谱中具有小于或等于12的Si‑H积分值的总和。所述Si‑H积分值的所述和在说明书中描述的条件下计算。本发明的用于形成二氧化硅层的组成物能够减少在固化期间产生的出气的量,获得具有最小缺陷的二氧化硅层。
搜索关键词: 用于 形成 二氧化硅 组成 制造 方法 以及 电子 装置
【主权项】:
1.一种用于形成二氧化硅层的组成物,包括:含硅聚合物,和溶剂,其中所述含硅聚合物在1H‑NMR光谱中具有小于或等于12的Si‑H积分值的总和,并且所述Si‑H积分值的总和通过条件1中提供的以下步骤S1和步骤S2计算:[条件1]步骤S1:通过添加所述含硅聚合物到二丁醚溶剂中以制备固体含量是15重量%±0.1重量%的样品1,然后用CDCl3溶剂将所述样品1稀释20%,以制备样品2,和步骤S2:在300MHz下测量所述样品2的1H‑NMR光谱,以计算Si‑H1、Si‑H2以及Si‑H3的积分值的总和,重复计算所述Si‑H1、Si‑H2以及Si‑H3的积分值的总和三次以获得三个测量值,将所述三个测量值平均,以获得所述Si‑H积分值的总和,其中计算所述Si‑H1、Si‑H2以及Si‑H3的积分值的总和的方法如下:设定所述二丁醚溶剂的积分值是40,分别计算对应于所述含硅聚合物中所存在的Si‑H1和Si‑H2的峰的积分值和对应于Si‑H3的峰的积分值,对对应于Si‑H1和Si‑H2的峰的积分值和对应于Si‑H3的峰的积分值求和,以获得所述Si‑H1、Si‑H2以及Si‑H3的积分值的总和;并且以Si‑H的总量计,Si‑H3部分以15重量%到35重量%的量包含在内。
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