[发明专利]声电隔离设备有效

专利信息
申请号: 201510945487.5 申请日: 2015-12-16
公开(公告)号: CN105721990B 公开(公告)日: 2019-07-05
发明(设计)人: S·恩古;D·塞顿;D·阿尔奎尔 申请(专利权)人: 意法半导体(图尔)公司;法国国立图尔大学
主分类号: H04R9/06 分类号: H04R9/06;H04R9/02
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华;张昊
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 本公开涉及的一种声电隔离设备包括能够传输声波的衬底。振动膜电声换能器的第一网络布置在衬底的第一表面上。振动膜电声换能器的第二网络布置在衬底的第二相对表面上。衬底的有效厚度在第一和第二表面之间相对于传播声波显示出梯度。
搜索关键词: 隔离 设备
【主权项】:
1.一种声电隔离设备,包括:衬底,配置用于传输声波;振动膜电声换能器的第一网络,布置在所述衬底的第一表面上;以及振动膜电声换能器的第二网络,布置在所述衬底的与所述第一表面相对的第二表面上;其中所述衬底在所述第一表面和所述第二表面之间具有有效厚度梯度,以及其中所述衬底包括非多孔硅部分、以及布置在所述衬底的外围处并从所述第一表面延伸到所述第二表面的多个多孔硅区域。
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