[发明专利]一种用于在线分析Ne中微量He、H2和杂质组分的气相色谱检测系统及方法

摘要

本发明涉及一种用于在线分析Ne中微量He、H2和杂质组分的气相色谱检测系统和检测方法，所述系统包括十通阀Ⅰ(1)、定量管Ⅰ(5‑1)、定量管Ⅱ(5‑2)、第一预分离色谱柱(6‑1)、六通阀Ⅰ(2)、第一分离色谱柱(7‑1)、六通阀Ⅱ(3)、第二分离色谱柱(7‑2)、等离子发射检测器(8)；第二阀路包括十通阀Ⅱ(4)、定量管Ⅲ(5‑3)、第二预分离色谱柱(6‑2)、第三分离色谱柱(7‑3)、热导检测器(9)以及配套管路。采用本发明的系统和方法能在线、精确分析Ne中微量He、H2组分和O2、N2、CH4、CO杂质组分及He中H2、O2、N2、CH4、CO杂质组分的含量，简化了气体分析过程，减小了气体分析误差。

主权项

一种用于在线分析Ne中微量He、H2和杂质组分O2、N2、CH4、CO的气相色谱检测系统，其特征在于，气相色谱检测系统包括第一阀路和第二阀路以及配套管路；第一阀路包括十通阀Ⅰ(1)、定量管Ⅰ(5‑1)、定量管Ⅱ(5‑2)、第一预分离色谱柱(6‑1)、六通阀Ⅰ(2)、第一分离色谱柱(7‑1)、六通阀Ⅱ(3)、第二分离色谱柱(7‑2)、等离子发射检测器(8)；第二阀路包括十通阀Ⅱ(4)、定量管Ⅲ(5‑3)、第二预分离色谱柱(6‑2)、第三分离色谱柱(7‑3)、热导检测器(9)；所述配套管路包括He载气导入总路(100)、Ne载气导入总路(200)、样气导入总路(300)、载气导出管路(400)、多余样气导出管路(500)、等离子发射检测器排气管路(800)和热导检测器排气管路(900)，所述He载气导入总路(100)通过调节阀组分成He载气第一、二、三、四导入支路(101、102、103、104)，所述Ne载气导入总路(200)通过一个调节阀分成Ne载气第一、二、三导入管路(201、202、203)，所述样气导入总路(300)通过一个调节阀分成样气第一导入支路(301)和样气第二导入支路(302)；其中，所述十通阀Ⅰ(1)的第一接口(11)通过第一预分离色谱柱(6‑1)与六通阀Ⅰ(2)的第六接口(26)连接，十通阀Ⅰ(1)的第二接口(12)与He载气第一导入支路(101)连接，十通阀Ⅰ(1)的第三接口(13)通过定量管Ⅰ(5‑1)与十通阀Ⅰ(1)的第十接口(10)连接，十通阀Ⅰ(1)的第四接口(14)与样气第一导入支路(301)连接，十通阀Ⅰ(1)的第五接口(15)通过定量管Ⅱ(5‑2)与十通阀Ⅰ(1)的第八接口(18)连接，十通阀Ⅰ(1)的第六接口(16)与He载气第二导入支路(102)连接，十通阀Ⅰ(1)的第七接口(17)通过第二分离色谱柱(7‑2)与所述六通阀Ⅱ(3)的第四接口(34)连接，十通阀Ⅰ(1)的第九接口(19)为放空口；所述六通阀Ⅰ(2)的第一接口(21)通过第一分离色谱柱(7‑1)与所述六通阀Ⅱ(3)的第一接口(31)连接，六通阀Ⅰ(2)的第二接口(22)与He载气第三导入支路(103)连接，六通阀Ⅰ(2)的第三接口(23)与其第五接口(25)相连，六通阀Ⅰ(2)的第四接口(24)为放空口；所述六通阀Ⅱ(3)的第二接口(32)与等离子发射检测器(8)的进样口连接，六通阀Ⅱ(3)的第三接口(33)与其第五接口(35)连接，六通阀Ⅱ(3)的第六接口(36)为放空口，并且六通阀Ⅱ(3)的第二接口(32)与等离子发射检测器(8)的进样口之间的连接管路通过调节阀与He载气第四导入支路(104)连接；所述十通阀Ⅱ(4)的第一接口(41)为放空口，十通阀Ⅱ(4)的第二接口(42)与样气第二导入支路(302)连接，十通阀Ⅱ(4)的第三接口(43)通过定量管Ⅲ(5‑3)与其第十接口(40)连接，十通阀Ⅱ(4)的第四接口(44)与Ne载气第一导入支路(201)连接，十通阀Ⅱ(4)的第五接口(45)通过第二预分离色谱柱(6‑2)与其第九接口(49)连接，十通阀Ⅱ(4)的第六接口(46)通过第三分离色谱柱(7‑3)与热导检测器(9)连接，十通阀Ⅱ(4)的第七接口(47)与Ne载气第二导入支路(202)连接，十通阀Ⅱ(4)的第八接口(48)为放空口，并且热导检测器(9)还与Ne载气第三导入支路(203)连接；十通阀Ⅰ(1)的第九接口(19)和十通阀Ⅱ(4)的第一接口(41)分别与多余样气导出管路(500)连接；六通阀Ⅰ(2)的第四接口(24)、六通阀Ⅱ(3)的第六接口(36)及十通阀Ⅱ(4)的第八接口(48)分别与载气导出管路(400)连接；等离子发射检测器(8)的出样口与等离子发射检测器排气管路(800)连接；热导检测器(9)的出样口与热导检测器排气管路(900)连接。