[发明专利]一种复合缓蚀剂及其制备方法有效
申请号: | 201510955349.5 | 申请日: | 2015-12-18 |
公开(公告)号: | CN105603436B | 公开(公告)日: | 2017-11-17 |
发明(设计)人: | 郑春柏;尹园;魏巍;柳美华;张依帆;邓鹏飏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春应用化学研究所 |
主分类号: | C23F11/08 | 分类号: | C23F11/08;C23F11/16 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 | 代理人: | 李外 |
地址: | 130022 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供一种复合缓蚀剂及其制备方法,属于复合缓蚀剂技术领域。解决现有的缓蚀剂与尼龙、聚醚酰亚胺以及含氟橡胶相容性差的问题。本发明的复合缓蚀剂,按照重量份数计,包括如下组分钼酸钠1‑10份,钨酸钠1‑5份,乌洛托品1‑5份,苯基咪唑啉1‑10份,缓蚀剂80‑90份,所述的缓蚀剂的结构式,如式Ⅰ所示。本发明还提供一种复合缓蚀剂的制备方法。本发明的复合缓蚀剂与尼龙、聚醚酰亚胺以及含氟橡胶相容性良好而且可在宽温域下发挥作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 复合 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种复合缓蚀剂,其特征在于,按照重量份数计,包括如下组分:所述的缓蚀剂的结构式,如式Ⅰ所示:式Ⅰ中,R为‑H,‑CH3,‑C2H5,‑C3H7,‑C4H9。
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