[发明专利]高密度等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201510956652.7 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105554995B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 周倩倩;胡炜杰;王红飞;王浩静 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 张倩 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及高密度等离子体发生装置，包括密闭式的石英管、封装在石英管两端的两个电极以及电源，所述石英管内填充工作气体及工质，所述电源分别与两个电极电连接。为了解决现有的等离子体发生装置设备重量大，频率较高的技术问题，本发明采用闭式等离子体层，等离子体灌充于管状等离子体装置内，该新型高密度等离子体发生装置开关可控、耗能低、工作可靠、维护便利，等离子体的产生和维持相对简单，便于等离子体技术的广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 高密度 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
1.高密度等离子体发生装置，其特征在于：包括密闭式的石英管、封装在石英管两端的两个电极以及电源，所述石英管内填充工作气体及工质，所述电源分别与两个电极电连接；所述工作气体及工质按照体积百分比由以下物质组成：氩气80％；氙气、氪气或氖气10％；汞蒸气1％；钠或铯9％；工作气体及工质的气压为100到2000Pa；两个电极的材料为耐高温、易于辐射电子的稀土材料。
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