[发明专利]一种可调量程的多铁异质磁场传感器及量程调节方法

摘要

本发明公开了一种可调量程的多铁异质磁场传感器及量程调节方法，磁场传感器包括从下至上依次排列的底层金属电极层、自由层、隔离层、钉扎层和顶层金属电极层；所述自由层为多铁异质多层结构，从下至上依次为铁电层和第一铁磁层；所述钉扎层为多层结构，从下至上依次为第二铁磁层和反铁磁层；所述自由层的铁电应力轴方向在水平投影上垂直于钉扎层的磁矩方向。量程调节方法包括向磁场传感器的铁电层施加量程切换电压V，使得铁电层产生电场应力，所述第一铁磁层受所述电场应力的作用，使得饱和磁场发生变化，从而改变磁场传感器的量程。本发明具有结构简单、体积小、可方便灵活的调整传感器量程，保证传感器在低磁场测量精度的优点。

主权项

1.一种可调量程的多铁异质磁场传感器，其特征在于：包括从下至上依次排列的底层金属电极层(1)、自由层(2)、隔离层(3)、钉扎层(4)和顶层金属电极层(5)；所述自由层(2)为多铁异质多层结构，从下至上依次为铁电层(21)和第一铁磁层(22)；所述钉扎层(4)为多层结构，从下至上依次为第二铁磁层(41)和反铁磁层(42)；所述自由层(2)的铁电应力轴方向在水平投影上垂直于钉扎层(4)的磁矩方向。