[发明专利]具导流板的封闭式流道反应槽系统有效
| 申请号： | 201510957781.8 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN106890608B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 彭宗平;柯志忠;林建宝;蜜西菈;黄圣鑫;刘光益;余友轩 | 申请（专利权）人： | 彭宗平 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具导流板的封闭式流道反应槽系统，包括：反应槽主体、上封盖、下封盖以及至少一导流板。该反应槽主体内设有多个封闭式流道。该上封盖及下封盖分别设于该反应槽主体的二端，且该上封盖及下封盖分别具有进口端及出口端，以连通该多个封闭式流道。该导流板设于该上封盖与该反应槽主体之间，用以将从该上封盖的进口端所注入的前驱物均匀地导入该多个封闭式流道内。 | ||
| 搜索关键词： | 反应槽 封闭式流道 上封盖 导流板 下封盖 进口端 出口端 前驱物 连通 | ||
【主权项】：
1.一种具导流板的封闭式流道反应槽系统，其特征为，该系统包括：设有多个封闭式流道的反应槽主体；具有一进口端的上封盖，其设于该反应槽主体的一端，且该进口端连通该多个封闭式流道；具有一出口端的下封盖，其相对于该上封盖而设于该反应槽主体的另一端，且该出口端连通该多个封闭式流道；至少二个O型环，其分别设于该反应槽主体与该上封盖之间或该反应槽主体与该下封盖之间的至少一者，以增加密封度；以及第一导流板，其设于该上封盖与该反应槽主体之间，该第一导流板包括：导流板本体，具有上表面及相对于该上表面的下表面；多个通孔，其贯穿该导流板本体的上表面及下表面；以及多个导槽，其凹陷并形成于该导流板本体的上表面上，且该多个导槽连通该多个通孔及该上封盖的进口端，以使从该进口端所注入的前驱物经由该多个导槽流入该多个通孔中，进而能够均匀地导入该多个封闭式流道内。
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