[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示面板

摘要

本申请公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板。该阵列基板包括基板以及依序叠置在所述基板之上的多晶硅沟道层、栅绝缘层、栅极、第一间绝缘层、第二间绝缘层，以及设置在所述第二间绝缘层之上的源极和漏极；其中，所述第一间绝缘层远离基板一侧与所述栅极远离基板一侧处于同一平面，使得所述第二间绝缘层远离基板一侧为一平面，所述源极远离基板一侧为一平面，且所述漏极远离基板一侧也为一平面。通过上述方式，能够减少寄生电容，保证电信号传输的稳定性。

主权项

一种阵列基板，其特征在于，包括基板以及依序叠置在所述基板之上的多晶硅沟道层、栅绝缘层、栅极、第一间绝缘层、第二间绝缘层，以及设置在所述第二间绝缘层之上的源极和漏极；所述栅绝缘层将所述多晶硅沟道层和栅极绝缘，所述源极和所述漏极均通过所述第二间绝缘层、第一间绝缘层、栅绝缘层与所述多晶硅沟道层连接，进而与所述栅极形成薄膜晶体管；其中，所述第一间绝缘层远离基板一侧与所述栅极远离基板一侧处于同一平面，使得所述第二间绝缘层远离基板一侧为一平面，所述源极远离基板一侧为一平面，且所述漏极远离基板一侧也为一平面。