[发明专利]光学感测模块在审
| 申请号： | 201510958313.2 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN106802280A | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 王钦宏;柯正达;杨省枢 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光学感测模块，通过感测光束感测待测物的特性，其包括承载基板、透光盖体、侧壁、光栅以及光学感测器。透光盖体上配置反射面，反射面具有透光开口。透光开口暴露出部分透光盖体。侧壁配置于承载基板的周围，且位于承载基板与透光盖体之间。光栅配置于承载基板上，且光栅的位置对应于透光开口。光学感测器配置于承载基板上，且位于光栅旁，其中承载基板、侧壁以及透光盖体形成真空腔室，且光栅与光学感测器配置于真空腔室内。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 模块 | ||
【主权项】：
一种光学感测模块，其特征在于，通过感测光束感测待测物的特性，该光学感测模块包括：承载基板；透光盖体，该透光盖体上配置反射面，该反射面具有透光开口，且该透光开口暴露出部分该透光盖体；侧壁，该侧壁配置于该承载基板的周围，且位于该承载基板与该透光盖体之间；光栅，该光栅配置于该承载基板上，且该光栅的位置对应于该透光开口；以及光学感测器，该光学感测器配置于该承载基板上，且位于该光栅旁，其中该承载基板、该侧壁与该透光盖体形成真空腔室，且该光栅与该光学感测器配置于该真空腔室内。
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