[发明专利]超声波影像装置以及使用它的观察方法有效
申请号: | 201510958357.5 | 申请日: | 2015-12-18 |
公开(公告)号: | CN105738476B | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 北见薰;菊池修;大和谷直史;郡司浩行;高桥卓也 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立电力解决方案 |
主分类号: | G01N29/06 | 分类号: | G01N29/06 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 范胜杰;文志 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种超声波影像装置以及使用它的观察方法,能够高分辨率地观察具有深弯曲的表面、倾斜的缺陷构造的试样。超声波影像装置具备:超声波探触部,其能够切换焦点深度;X轴驱动装置和Y轴驱动装置,其使超声波探触部在平面方向扫描;Z轴驱动装置,其能够改变超声波探触部和试样的间隔;以及扫描控制部,其通过将超声波探触部的焦点深度设定得宽来进行扫描从而取得试样的观察位置的深度图,将超声波探触部的焦点深度设定得窄,并且一边通过Z轴驱动装置改变超声波探触部和观察位置的距离从而使超声波探触部的焦点深度包含观察位置,一边使超声波探触部进行扫描。 | ||
搜索关键词: | 超声波 影像 装置 以及 使用 观察 方法 | ||
【主权项】:
1.一种超声波影像装置,其特征在于,具备:超声波探触单元,其结构包含宽焦点深度探头以及高分辨率探头,并能够切换所述高分辨率探头和所述宽焦点深度探头,其中,所述宽焦点深度探头的分辨率为第1分辨率,进行探触的焦点深度的宽度为第1焦点深度;所述高分辨率探头的分辨率为第2分辨率,进行探触的焦点深度的宽度为第2焦点深度;扫描单元,其使所述超声波探触单元在平面方向进行扫描;深度可变单元,其能够改变所述超声波探触单元和试样的间隔;以及控制单元,其将所述超声波探触单元的分辨率设定为所述第1分辨率,将焦点深度的宽度设定为所述第1焦点深度,通过所述扫描单元进行扫描来取得所述试样的观察位置的深度图,并且将所述超声波探触单元的分辨率设定为比所述第1分辨率高的所述第2分辨率,将焦点深度的宽度设定为比所述第1焦点深度窄的所述第2焦点深度,一边通过所述深度可变单元改变所述超声波探触单元和所述观察位置的距离从而使所述超声波探触单元的所述第2焦点深度包含与所述深度图有关的所述观察位置,一边通过所述扫描单元使所述超声波探触单元进行扫描。
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