[发明专利]基于视觉传感的AFM系统机械漂移补偿方法有效
| 申请号： | 201510958664.3 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN106855389B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 王玉亮;李晓来 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于精密测量领域，涉及一种基于视觉传感的AFM系统机械漂移补偿方法，该方法在通过图像处理定位显微镜下微球位置基础上，建立一种AFM系统漂移补偿算法。由于机械振动和噪声干扰等因素对AFM系统的影响，悬臂末端微球与样品表面微球间距离的变化量为AFM系统漂移的累加，根据测量的距离变化量，调整微球所在平台的驱动器电压从而调整微球位置，使悬臂末端微球与样品表面微球间距离保持为常量，从而实现对AFM系统漂移量进行补偿。与目前已有的AFM系统漂移补偿方法相比，该方法具有不改造AFM系统硬件、非接触测量的优势，可以实时地补偿AFM系统漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 视觉 传感 afm 系统 机械 漂移 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于视觉传感的AFM系统机械漂移补偿方法，其特征在于，所述视觉传感部分包括一个AFM悬臂末端微球和一个样品表面微球，通过视觉传感技术对AFM悬臂末端微球和样品表面微球之间距离的测量，计算AFM系统的漂移量，包括以下步骤：步骤一、基于视觉传感技术计算AFM悬臂末端微球和样品表面微球位置；步骤二、根据悬臂末端微球和样品表面微球位置计算两者之间距离变化量，从而得到AFM系统漂移量；步骤三、根据步骤二计算的漂移量，调节AFM悬臂末端微球所在扫描平台的驱动电压，使AFM悬臂末端微球与样品表面微球之间距离在阈值范围内。
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