[发明专利]光照射装置以及光照射方法

摘要

提供一种光照射装置以及光照射方法，在双工作台方式中使工作台彼此不会干涉而能够高效地进行光照射处理。光照射装置具备：载置第一工件，且能够在第一待机位置与照射区域之间进行往复移动的第一工作台；载置第二工件，且能够在第二待机位置与照射区域之间进行往复移动的第二工作台；以及对第一工作台以及第二工作台的移动独立地进行控制以便第一工件和第二工件交替地通过照射区域的控制部。此处，控制部以下述方式进行控制：各工作台在照射区域内以比最大移动速度慢的移动速度移动，在照射区域外的归路以最大移动速度移动，在照射区域外的去路以使得工作台间距离不会低于预先设定的最接近距离的移动速度移动。

主权项

1.一种光照射装置，对通过预先设定的照射区域的工件照射光，其特征在于，具备：第一工作台，载置第一工件，且能够在通过上述照射区域的搬运轴上将从设定于上述照射区域的一侧的第一待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往复移动；第二工作台，载置第二工件，且能够在通过上述照射区域的搬运轴上将从设定于上述照射区域的另一侧的第二待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往复移动；以及控制部，对上述第一工作台以及上述第二工作台的移动独立地进行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通过上述照射区域，上述控制部以下述方式进行控制：上述第一工作台以及上述第二工作台在上述照射区域内以第一移动速度移动，在上述照射区域外的归路以比上述第一移动速度高速的第二移动速度移动，在上述照射区域外的去路，当工作台间距离比预先设定的最接近距离长时以上述第二移动速度移动、当上述工作台间距离为上述最接近距离以下时以上述第一移动速度移动，并且以下述方式进行控制：在上述第一工作台以及上述第二工作台中的、处于归路移动中的一方的工作台至少处于上述照射区域的期间之前，另一方的工作台开始进行去路移动。