[发明专利]压力传感器模块及压力传感器模块的制造方法在审

专利信息
申请号: 201510958721.8 申请日: 2015-12-18
公开(公告)号: CN105806546A 公开(公告)日: 2016-07-27
发明(设计)人: 金子靖明;大田昌纪;津田齐 申请(专利权)人: 株式会社TGK
主分类号: G01L13/00 分类号: G01L13/00;G01L13/06
代理公司: 北京市天达律师事务所 11475 代理人: 张嵩;龚建华
地址: 日本国东京都八*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种能不使用熔接地将膜片固定于基体的压力传感器模块,包括:基体(14),具有在内部安装压力传感器元件(12)的第1凹部(22A)、和从第1凹部(22A)的开口边缘向外侧延伸的第1承受面部(30A);第1膜片(36A),以从入口侧堵住第1凹部(22A)的方式与第1承受面部(30A)相对而设,并被可相对于基体(14)分离地配置;第1弹性体(42A),被配置在比第1凹部(22A)的开口边缘更靠外侧,且被配置在第1膜片(36A)的单面侧;第1装配部件(44A),被以朝第1承受面部(30A)按压第1膜片(36A)及第1弹性体(42A)的状态装配于基体(14)。
搜索关键词: 压力传感器 模块 制造 方法
【主权项】:
一种压力传感器模块,其特征在于,包括:基体,具有在内部安装压力传感器元件的第1凹部、和从所述第1凹部的开口边缘向外侧延伸的第1承受面部,第1膜片,被以从入口侧堵住所述第1凹部的方式与所述第1承受面部相对而设,并且被相对于所述基体可分离地配置,第1弹性体,被配置在比所述第1凹部的开口边缘更靠外侧、且被配置在所述第1膜片的单面侧,以及第1装配部件,被以朝所述第1承受面部按压所述第1膜片及所述第1弹性体的状态装配于所述基体。
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