[发明专利]一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置在审
| 申请号： | 201510960101.8 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105467544A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 王辉;周烽;郭本银;谢耀;王丽萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置属于高精度光学元件精密支撑技术领域，目的在于解决现有技术装配过程中的干扰因素对面形影响严重，摩擦系数大的问题。本发明包括支撑盘、凸台、凸台压板、凸台紧固螺母、柔性支撑主体结构、蝶形弹簧和支撑位置调整螺母，凸台粘接固定在光学元件结构的侧壁，凸台通过凸台压板和凸台紧固螺母压紧在柔性支撑主体结构上，支撑位置调整螺母将柔性支撑主体结构压紧到支撑盘上，柔性支撑主体结构和支撑盘之间设置有蝶形弹簧。本发明能够通过控制柔性支撑结构在精密装配过程的形状，控制光学元件产生附加内应力，保证超高面形精度的实现，可以减小热因素对光学元件面形的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高精度 光学 元件 多点 柔性 支撑 装置 | ||
【主权项】：
一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置，其特征在于，其包括支撑盘(9)和柔性支撑结构单元(3)，所述柔性支撑结构单元(3)包括凸台(2)、凸台压板(6)、凸台紧固螺母(8)、柔性支撑主体结构(4)、蝶形弹簧(5)和支撑位置调整螺母(7)，光学元件结构(1)通过多组圆周均布的所述柔性支撑结构单元(3)固定在所述支撑盘(9)上，所述凸台(2)粘接固定在光学元件结构(1)的侧壁，凸台(2)通过凸台压板(6)和凸台紧固螺母(8)压紧在柔性支撑主体结构(4)上，支撑位置调整螺母(7)将柔性支撑主体结构(4)压紧到支撑盘(9)上，柔性支撑主体结构(4)和支撑盘(9)之间设置有蝶形弹簧(5)，通过柔性支撑主体结构(4)将相关自由度方向光学元件结构(1)的热应力转化为柔性支撑主体结构(4)的变形应力。
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