[发明专利]一种极紫外凹面反射镜镀膜均匀性评估方法

摘要

一种极紫外凹面反射镜镀膜均匀性评估方法，属于极紫外光学技术应用领域，该方法是加工与凹面反射镜具有相同形状的镀膜模具，以镀膜模具外边缘一点为起点，按螺旋线形状在镀膜模具上依次取点打孔，螺旋线与起点所在的半径的最后一个交点为终点，并将各点按照坐标位置编码；再在所述起点和终点之间的径向直线上依次取点打孔，并将各点按照坐标位置编码；选取石英玻璃测试样片，对测试样片进行超声清洁、慢拉脱水、酒精烘干，对测试样片分别按照步骤一所述的螺旋线和径向直线顺序两组编码，且在打孔位置上粘贴测试样片，在测试样片上制备极紫外单层膜；按编码顺序依次对测试样片进行XRD测试，在同一模型参数下解析极紫外单层膜厚度。

主权项

1.一种极紫外凹面反射镜镀膜均匀性评估方法，其特征是，包括以下步骤步骤一，加工与极紫外凹面反射镜具有相同形状的镀膜模具，以镀膜模具外边缘一点为起点，按螺旋线形状在镀膜模具上依次取点打孔，螺旋线与起点所在的半径的最后一个交点为打孔终点，并将各点按照坐标位置编码；再在所述起点和终点之间的径向直线上依次取点打孔，并将各点按照坐标位置编码；对镀膜模具进行超声清洁、慢拉脱水、酒精烘干；步骤二，选取石英玻璃测试样片，对测试样片进行超声清洁、慢拉脱水、酒精烘干；对测试样片分别按照步骤一所述的螺旋线和径向直线顺序编码，且在打孔位置上粘贴测试样片；采用磁控溅射镀膜工艺在测试样片上制备极紫外单层膜；步骤三，按步骤二中的编码顺序依次对测试样片进行XRD测试，在同一模型参数下解析极紫外单层膜厚度，分别获得极紫外凹面反射镜表面厚度圆周均匀性空间分布特性和极紫外凹面反射镜表面厚度径向均匀性空间分布特性。