[发明专利]球面透镜材料均匀性的检测方法

摘要

球面透镜材料均匀性的检测方法属于光学干涉测量技术领域，该方法结合移相干涉测量技术、折射率匹配液和贴置板实现球面透镜材料均匀性检测。通过折射率匹配液与被检透镜折射率的匹配，使被检透镜可以利用干涉仪平面波前检测。同时，通过搅动折射率匹配液，然后反复测量满腔状态下的干涉检测结果消除折射率匹配液均匀性对检测结果的影响。最后，利用满腔和空腔干涉检测结果相减可以获得被检透镜的材料均匀性。该方法的有益效果是不仅可以测量平板玻璃的材料均匀性，还可以测量球面透镜的材料均匀性。

主权项

1.球面透镜材料均匀性的检测方法，首先，构建球面透镜材料均匀性检测装置，包括干涉仪、透射平面标准具、贴置板和反射平面标准具，所有部件同轴放置；将被检透镜放置在贴置板组成的容器内，在光路经过的贴置板内侧均匀附着折射率匹配液，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：所述折射率匹配液在干涉仪工作波长下的折射率与被检透镜折射率接近，贴置板与被检透镜材料相同，其外表面抛光；步骤二：在干涉仪上安装透射平面标准具；调整贴置板倾斜使其反射光处于干涉仪视场以外；安装反射平面标准具并调整倾斜使其与透射平面标准具形成的干涉条纹为零条纹，并调整干涉仪聚焦位置使反射平面标准具成为干涉仪成像镜的物面；步骤三：在包含被检透镜的满腔情况下，透射平面标准具与反射平面标准具形成干涉腔，其干涉检测结果CFC为：CFC＝‑STF‑SRF+HPlate1+HOil+HLens+HPlate2+k1其中，STF和SRF分别为透射平面标准具和反射平面标准具的面形误差，HPlate1、HPlate2、HOil和HLens分别为第一贴置板、第二贴置板、折射率匹配液和被检透镜的均匀性，k1为常数项；步骤四：搅动折射率匹配液，待匹配液重新稳定后再测量满腔的结果，重复该过程多次，并将多次测量结果取平均，获得满腔的平均干涉检测结果其中，折射率匹配液均匀性在多组重复测量结果平均后被消除；步骤五：取出被检透镜，清空贴置板内的折射率匹配液，透射平面标准具与反射平面标准具形成空腔，其干涉检测结果CEC为：CEC＝‑STF‑SRF+HPlate1+HPlate2+k2其中，k₂为常数项；被检透镜的材料均匀性H_Lens由步骤四中满腔平均干涉结果和步骤五中空腔的检测结果C_EC相减得到：