[发明专利]透射球面波镜头拟合光轴的确定方法

摘要

透射球面波镜头拟合光轴的确定方法属于光学集成技术领域，通过干涉仪、标定球面镜、平面反射镜和定心仪等装置确定透射球面波镜头拟合光轴的方法。该方法将球面波前误差最小时的入射光方向作为透射球面波镜头的拟合光轴方向，将此时球面波前球心位置作为拟合光轴的一个点，由此确定拟合光轴的方向和位置。最终，实现将透射球面波镜头的光轴基准转移至精密转台的转轴，从而方便透射球面波镜头与其他光学镜头集成和装配。利用上述方法确定的透射球面波镜头拟合光轴，不仅可以反映每个表面面倾斜对镜头光轴的影响，而且可以直接反映每个表面面倾斜对镜头最终光学性能的影响，因此在上述拟合光轴下工作的透射球面波镜头可以发挥其最佳光学性能。

主权项

透射球面波镜头拟合光轴的确定方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：搭建透射球面波镜头的球面波前误差干涉检测装置，包括干涉仪、平面标准镜头、透射球面波镜头和标定球面镜；将平面标准镜头安装在干涉仪上，透射球面波镜头集成在干涉检测装置中，调整标定球面镜位置使干涉仪的干涉图为零条纹，检测透射球面波镜头的波前误差；调整透射球面波镜头倾斜，并相应调整标定球面镜使干涉图为零条纹，再次检测透射球面波镜头波前误差，重复该过程，直至透射球面波镜头波前误差达到最小值；此时，入射光方向即透射球面波镜头的拟合光轴方向，且标定球面镜球心与透射球面波镜头的球面波前球心重合；步骤二：确定最小波前误差对应的透射球面波镜头姿态之后，在透射球面波镜头上方安装平面反射镜，调整透射球面波镜头倾斜姿态使平面反射镜与平面标准镜头形成的干涉条纹为零条纹，此时平面反射镜法线与透射球面波镜头拟合光轴平行；步骤三：利用定心仪测量平面反射镜的法线方向，并调整平面反射镜、透射球面波镜头和标定球面镜的整体姿态，使平面反射镜法线与精密转台的转轴平行；取走平面反射镜，利用定心仪测量标定球面镜的球心位置，调整透射球面波镜头和标定球面镜的整体位置，确保倾斜姿态不变，使标定球面镜球心与精密转台的转轴重合，实现透射球面波镜头拟合光轴的确定方法。