[发明专利]一种光学玻璃的材料均匀性检测方法及装置

摘要

本发明提出一种光学玻璃的材料均匀性检测方法，将被检镜划分为至少三个子孔径区域，分别对每个子孔径区域计算材料均匀性，再利用子孔径拼接算法计算得到被检镜的材料均匀性，另外，被检镜的倾斜姿态由监视干涉仪和侧面的平面反射镜监视和校正，因此不同子孔径的均匀性测试结果的倾斜状态完全一致，而由均匀性中的离焦和像散在子孔径干涉检测结果中引入的“倾斜”量可以被真实地保留，从而避免了被检镜全口径均匀性中出现不连续的拼接痕迹。本发明提出的方法在利用小口径移相干涉仪实现大口径光学玻璃材料均匀性的检测过程中，不仅可以实现材料均匀性的全部波像差绝对检测，而且可以消除不连续的拼接痕迹造成的检测误差。

主权项

1.一种光学玻璃的材料均匀性检测方法，其特征在于，所述方法包括：将待检测光学玻璃进行抛光得到平行平板作为被检镜；将所述被检镜至少划分为三个子孔径区域，其中，相邻的两个子孔径区域具有重叠区域；获取每个子孔径区域的材料均匀性；利用子孔径拼接算法将全部的子孔径区域的材料均匀性进行拼接计算以获得大口径光学玻璃的材料均匀性；所述获取每个子孔径区域的材料均匀性具体包括：调整所述被检镜的位置使得多个子孔径区域中的任一个子孔径区域与透射平面镜头形成的干涉条纹为零条纹；调节反射平面镜头位置使得所述反射平面镜头与所述透射平面镜头形成的干涉条纹为零条纹，其中，所述透射平面镜头与所述被检镜前表面形成第一干涉腔，所述被检镜上下两个表面形成第二干涉腔，所述被检镜后表面与所述反射平面镜头形成第三干涉腔；根据波长移相干涉原理计算得出所述第一干涉腔、所述第二干涉腔及所述第三干涉腔的检测结果；获取所述透射平面镜头和所述反射平面镜头形成的第四干涉腔，根据波长移相干涉原理计算得出所述第四干涉腔的检测结果；根据所述第一干涉腔、所述第二干涉腔、所述第三干涉腔以及所述第四干涉腔的检测结果计算得出所述子孔径区域的材料均匀性。