[发明专利]可实现光学元件主动面形控制的支撑装置在审
| 申请号： | 201510962472.X | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105403154A | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 王辉;周烽;郭本银;谢耀;王丽萍;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130000 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 可实现光学元件主动面形控制的支撑装置，属于光学元件高复现性干涉检测技术领域，涉及一种可实现光学元件主动面形控制的支撑装置。本发明能够控制柔性铰链在精密装配过程以及实际使用过程中的形状，实现主动控制光学元件面形的目的，进而实现光学元件的超高面形精度。本发明包括支撑盘和三个独立支撑单元，待支撑光学元件放置在支撑盘上，三个独立支撑单元设置在支撑盘上，三个独立支撑单元沿圆周均匀分布在待支撑光学元件的侧方；且三个独立支撑单元均沿待支撑光学元件侧面的切线方向布置；所述的独立支撑单元由柔性铰链、连接台、直线运动单元及弹簧组成。 | ||
| 搜索关键词： | 实现 光学 元件 主动 控制 支撑 装置 | ||
【主权项】：
一种可实现光学元件主动面形控制的支撑装置，其特征在于，包括支撑盘和三个独立支撑单元，待支撑光学元件放置在支撑盘上，三个独立支撑单元设置在支撑盘上，三个独立支撑单元沿圆周均匀分布在待支撑光学元件的侧方；且三个独立支撑单元均沿待支撑光学元件侧面的切线方向布置；所述的独立支撑单元由柔性铰链、连接台、直线运动单元及弹簧组成，柔性铰链固定在支撑盘上，连接台的一端固定在柔性铰链上，连接台的另一端压在直线运动单元的运动端，直线运动单元的固定端固定在支撑盘上，连接台与支撑盘之间设置有弹簧。
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