[发明专利]一种干涉测量中成像畸变的标定系统及标定方法

摘要

本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及一种干涉测量中成像畸变的标定系统，包括干涉测量中成像畸变的标定系统，包括干涉测量装置、调整机构、球冠网格板和数据处理装置，球冠网格板，用于对所述被检光学元件进行畸变标定；调整机构调整光学被检光学元件处于干涉测量装置共焦干涉检测位置，被检光学元件中心、球冠网格板的几何中心与干涉测量装置的光轴重合，球冠网格板的坐标轴与干涉测量装置探测器的坐标轴重合；干涉测量装置进行干涉检测；数据处理装置计算畸变函数及被检光学元件的面形误差。本发明还包括干涉测量中成像畸变的标定方法。通过设置网格板，进行成像畸变标定，达到了在不破坏被检元件的情况下，实现成像畸变标定的有益效果。

主权项

1.一种干涉测量中成像畸变的标定系统，包括干涉测量装置、调整机构，其特征在于，还包括球冠网格板和数据处理装置；所述球冠网格板上分布有标记孔以及由所述标记孔标记而成的坐标轴，所述球冠网格板的曲率半径与对被检光学元件曲率半径相同，用于对所述被检光学元件进行畸变标定；所述调整机构，用于调整所述光学被检光学元件处于所述干涉测量装置共焦干涉检测位置，所述被检光学元件被检区域中心、所述球冠网格板的几何中心与所述干涉测量装置的光轴重合，并调整所述球冠网格板的坐标轴与所述干涉测量装置CCD探测器的坐标轴重合；所述干涉测量装置，用于对所述球冠网格板及所述被检光学元件进行干涉检测，获取所述球冠网格板标记孔的干涉图和所述被检光学元件的干涉图；所述数据处理装置，用于根据所述球冠网格板标记孔的干涉图数据计算畸变坐标和无畸变坐标的函数关系，得到畸变函数模型；还用于根据所述被检光学元件的干涉图及所述畸变函数模型，计算得到所述被检光学元件的面形误差；所述干涉测量装置与所述调整机构相对设置，所述被检光学元件设置于所述调整机构上，所述球冠网格板设置于所述干涉测量装置与所述被检光学元件之间。