[发明专利]一种光学检测平台及光学检测方法

摘要

本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及一种光学检测平台，包括第一平台、第二平台、固定装置、升降模块；所述第一平台，用于放置被检光学元件或干涉装置；所述第二平台，用于放置干涉装置或光学元件，所述第二平台中心位置设置有通孔；所述升降模块，用于控制第二平台靠近或远离所述第一平台；所述第一平台设置于底面，所述第二平台平行设置于所述第一平台的上方；所述固定装置一端固定于所述第一平台上，另一端与所述升降模块连接；所述升降模块带动所述第二平台升降，使所述第二平台靠近或远离所述第一平台，以调整干涉腔腔长。本发明通过设置升降模块控制第二平台的升降，从而达到了简单、快速的实现多种类型光学元件检测的有益效果。

主权项

1.一种光学检测平台，其特征在于，包括第一平台、第二平台、固定装置、升降模块；所述第一平台，用于放置被检光学元件或干涉装置；所述第二平台，用于放置干涉装置或光学元件，所述第二平台中心位置设置有通孔；所述升降模块，用于控制第二平台靠近或远离所述第一平台；所述第一平台设置于底面，所述第二平台平行设置于所述第一平台的上方；所述固定装置一端固定于所述第一平台上，另一端与所述升降模块连接；所述升降模块带动所述第二平台升降，使所述第二平台靠近或远离所述第一平台，以调整干涉腔腔长；所述固定装置为龙门框架模块，所述龙门框架模块包括至少两个立柱和至少一个顶梁，所述立柱和所述顶梁组成龙门结构，所述立柱垂直于所述第一平台，且所述立柱的下端面固定于所述第一平台上；所述升降模块包括配重装置、滑台升降导轨、光栅尺和升降精密调整机构；所述滑台升降导轨与所述滑台通过滑块连接，用于所述滑台上下运动；所述光栅尺，用于检测所述滑台沿所述滑台升降导轨的位移；所述升降精密调整机构，用于调整所述滑台的位移，以调整干涉腔腔长，所述配重装置与所述第二平台连接，所述滑台升降导轨及所述光栅尺平行固定于所述立柱的内侧，所述升降精密调整机构根据所述光栅尺的信号控制所述配重装置的位移，从而控制所述第二平台的位移。