[发明专利]一种IC装片机在审

专利信息
申请号: 201510963777.2 申请日: 2015-12-21
公开(公告)号: CN105428259A 公开(公告)日: 2016-03-23
发明(设计)人: 王敕 申请(专利权)人: 王敕
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 215000 江苏省苏州市常熟市沿江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种IC装片机,其使得整个设备在实际工作中的产能高,且对基板的芯片固装精度高,并降低了整个设备的制造成本。其包括基板上料工位、点胶工位、装片工位;所述基板上料工位,用于连续提供点胶工位的基板正常输送;所述点胶工位,其位于所述基板上料工位的正后方、用于对基板的待贴芯片位置进行点胶处理,所述点胶工位包括点胶工作台、卡板输送夹爪、点胶枪、点胶枪控制部分,卡板输送夹爪位于所述点胶工作台的一侧位置,所述点胶枪位于所述点胶工作台的正上方,所述点胶枪外接所述点胶枪控制部分,所述点胶枪控制部分控制点胶枪的移动和点胶,所述点胶枪控制部分内置一个三轴运动模组;所述装片工位,其用于对基板进行芯片固装。
搜索关键词: 一种 ic 装片机
【主权项】:
一种IC装片机,其特征在于:其包括基板上料工位、点胶工位、装片工位;所述基板上料工位,用于连续提供点胶工位的基板正常输送;所述点胶工位,其位于所述基板上料工位的正后方、用于对基板的待贴芯片位置进行点胶处理,所述点胶工位包括点胶工作台、卡板输送夹爪、点胶枪、点胶枪控制部分,所述卡板输送夹爪位于所述点胶工作台的一侧位置,所述点胶枪位于所述点胶工作台的正上方,所述点胶枪外接所述点胶枪控制部分,所述点胶枪控制部分控制点胶枪的移动和点胶,所述点胶枪控制部分内置一个三轴运动模组;所述装片工位,其用于对基板进行芯片固装,所述装片工位具体包括晶圆支承工作台、装片工作台、焊头、摆臂结构、摆臂控制结构,所述装片工作台位于所述点胶工位的点胶工作台的正后方,所述晶圆支承工作台位于所述装片工作台的一侧,所述装片工作台、晶圆支承工作台之间布置有可180°旋转的摆臂结构,所述摆臂结构的底部连接有所述焊头,所述摆臂结构的主轴连接所述摆臂控制结构,所述摆臂结构可沿着Z轴垂直向升降,所述装片工作台支承于XY导向座,所述XY导向座可带动整个装片工作台X向、Y向精确移动。
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