[发明专利]一种IC装片机在审
申请号: | 201510963777.2 | 申请日: | 2015-12-21 |
公开(公告)号: | CN105428259A | 公开(公告)日: | 2016-03-23 |
发明(设计)人: | 王敕 | 申请(专利权)人: | 王敕 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 215000 江苏省苏州市常熟市沿江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种IC装片机,其使得整个设备在实际工作中的产能高,且对基板的芯片固装精度高,并降低了整个设备的制造成本。其包括基板上料工位、点胶工位、装片工位;所述基板上料工位,用于连续提供点胶工位的基板正常输送;所述点胶工位,其位于所述基板上料工位的正后方、用于对基板的待贴芯片位置进行点胶处理,所述点胶工位包括点胶工作台、卡板输送夹爪、点胶枪、点胶枪控制部分,卡板输送夹爪位于所述点胶工作台的一侧位置,所述点胶枪位于所述点胶工作台的正上方,所述点胶枪外接所述点胶枪控制部分,所述点胶枪控制部分控制点胶枪的移动和点胶,所述点胶枪控制部分内置一个三轴运动模组;所述装片工位,其用于对基板进行芯片固装。 | ||
搜索关键词: | 一种 ic 装片机 | ||
【主权项】:
一种IC装片机,其特征在于:其包括基板上料工位、点胶工位、装片工位;所述基板上料工位,用于连续提供点胶工位的基板正常输送;所述点胶工位,其位于所述基板上料工位的正后方、用于对基板的待贴芯片位置进行点胶处理,所述点胶工位包括点胶工作台、卡板输送夹爪、点胶枪、点胶枪控制部分,所述卡板输送夹爪位于所述点胶工作台的一侧位置,所述点胶枪位于所述点胶工作台的正上方,所述点胶枪外接所述点胶枪控制部分,所述点胶枪控制部分控制点胶枪的移动和点胶,所述点胶枪控制部分内置一个三轴运动模组;所述装片工位,其用于对基板进行芯片固装,所述装片工位具体包括晶圆支承工作台、装片工作台、焊头、摆臂结构、摆臂控制结构,所述装片工作台位于所述点胶工位的点胶工作台的正后方,所述晶圆支承工作台位于所述装片工作台的一侧,所述装片工作台、晶圆支承工作台之间布置有可180°旋转的摆臂结构,所述摆臂结构的底部连接有所述焊头,所述摆臂结构的主轴连接所述摆臂控制结构,所述摆臂结构可沿着Z轴垂直向升降,所述装片工作台支承于XY导向座,所述XY导向座可带动整个装片工作台X向、Y向精确移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造