[发明专利]氧化锌靶材的制备方法及氧化锌薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201510964540.6 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105565798B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 许积文;唐浩;宋永生;李文杰;莫方策;韦崇敏 | 申请（专利权）人： | 广东风华高新科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/38;C04B35/453;C04B35/64 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 生启 |
| 地址： | 526020 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化锌靶材的制备方法及氧化锌薄膜的制备方法。氧化锌靶材的制备方法，包括如下步骤：提供靶材原料，将所述靶材原料进行第一次球磨处理得到粉体；将所述粉体进行煅烧处理；将煅烧处理后的所述粉体进行第二次球磨处理后造粒得到粒料；将所述粒料进行成型处理得到素坯；在空气气氛下将所述素坯进行脱脂处理得到脱脂后的素坯；及将所述脱脂后的素坯进行缺氧烧结得到氧化锌靶材。这种氧化锌靶材的制备方法，制备的氧化锌靶材的导电性较好。导电靶材采用直流磁控溅射，在氧气气氛镀膜，可以获得高电阻率和透光率的氧化锌薄膜。本发明所制备的靶材可满足直流磁控溅射，以及高阻氧化锌薄膜制备的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 制备 方法 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供靶材原料，将所述靶材原料进行第一次球磨处理得到粉体；将所述粉体进行煅烧处理；将煅烧处理后的所述粉体进行第二次球磨处理后造粒得到粒料；将所述粒料进行成型处理得到素坯；在空气气氛下将所述素坯进行脱脂处理得到脱脂后的素坯；及在还原性气氛下将所述脱脂后的素坯进行缺氧烧结得到氧化锌靶材。
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