[发明专利]制造化学机械抛光垫的方法

摘要

提供一种制造化学机械抛光垫的方法，其中自动检查系统经配置以检测切削薄片的宏观不均匀性并且将所述切削薄片分类成可接受或待检；其中所述可接受切削薄片进一步加工形成化学机械抛光垫的抛光层。

主权项

一种制造具有抛光层的化学机械抛光垫的方法，其包含：提供由可固化材料形成的固化饼状物；其中所述可固化材料包含液体预聚物和多种微量元素，其中所述多种微量元素分散于所述液体预聚物中；切削所述固化饼状物形成多个切削薄片；提供自动检查系统，其包含：暗匣；光源，其发射光束；光检测器；数字图像数据采集装置；以及图像数据处理单元；将所述多个切削薄片装载到所述暗匣中；一次一个切削薄片在所述光源与所述光检测器之间输送所述多个切削薄片；其中所述各切削薄片在其透射表面和冲击表面之间具有厚度TS；其中所述透射表面和所述冲击表面实质上平行；其中所述光源发射的所述光束经定向以冲击到所述冲击表面上；以及其中所述光检测器经定向以检测来自所述光束的透射光，所述透射光传播通过厚度TS并且从所述透射表面传出；其中所述透射光具有至少一种可检测特性；其中所述至少一种可检测特性包括所述透射光的强度；其中所述透射光的所述强度通过所述光检测器转化成电信号；其中来自所述光检测器的所述电信号通过所述数字图像数据采集装置转化成数字信号；其中来自所述数字图像数据采集装置的所述数字信号通过所述图像数据处理单元处理，其中所述图像数据处理单元经配置以检测宏观不均匀性并且将切削薄片分类成可接受或待检；其中所述多个切削薄片分成可接受薄片的群体和待检薄片的群体；其中所述可接受薄片的群体包括至少一个可接受薄片；以及处理来自所述可接受薄片的群体的可接受薄片形成所述化学机械抛光垫的所述抛光层；其中所述抛光层调适成用于抛光衬底。