[发明专利]新型光纤高压传感器

摘要

本发明提供新型光纤高压传感器，包括压力入口、压力源接头、底座、外壳、光缆防水接头、传感膜片、多模光纤、SMA金属光纤插芯、铠装光纤外套；SMA金属光纤插芯和底座的侧面通过均匀涂抹环氧树脂胶密封，底面通过激光焊接连接；传感膜片为带有圆柱形法珀微腔的方形膜片，和SMA金属光纤插芯之间通过环氧树脂固定，固定前通过偏振低相干干涉解调仪观察信号质量保证膜片与插芯的对中性；压力源接头和底座的侧面通过均匀涂抹环氧树脂胶密封，底面通过激光焊接连接；底座和外壳之间、外壳和光缆防水接头之间均通过螺纹连接。本发明适应范围广；抗电磁干扰性强，耗电低；对光源的要求较低；结构简单，维修方便，成本低。

主权项

1.新型光纤高压传感器，其特征在于：所述传感器包括压力入口(1)、压力源接头(2)、底座(3)、外壳(4)、光缆防水接头(5)、传感膜片(6)、多模光纤(7)、SMA金属光纤插芯(8)、铠装光纤外套(9)；SMA金属光纤插芯(8)和底座(3)的侧面通过均匀涂抹环氧树脂胶密封，底面通过激光焊接连接；传感膜片(6)为带有圆柱形法珀微腔的方形膜片，和SMA金属光纤插芯(8)之间通过环氧树脂固定，固定前通过偏振低相干干涉解调仪观察信号质量保证膜片与插芯的对中性；压力源接头(2)和底座(3)的侧面通过均匀涂抹环氧树脂胶密封，底面通过激光焊接连接；底座(3)和外壳(4)之间、外壳(4)和光缆防水接头(5)之间均通过螺纹连接，传感硅片(10)和Pyrex玻璃基底(12)经阳极键合构成传感膜片(6)，所述传感硅片(10)和Pyrex玻璃基底(12)之间为经MEMS技术腐蚀得到的真空F‑P微腔(11)。