[发明专利]一种狭缝柔性结构的光学元件微动调整装置在审
| 申请号： | 201510967716.3 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN105467546A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 郭抗;陈华男;倪明阳;董世则;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 刘慧宇 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种狭缝柔性结构的光学元件微动调整装置，属于光刻物镜结构设计与装调技术领域，为了解决现有技术存在的光学元件微动调整装置在保证光学元件极高调整精度的同时，装置的制造与装配困难的问题，本装置包括支撑镜框、微动调整机构、三个微位移驱动器、三个微位移驱动器连接座、三个微位移传感器及三个微位移传感器连接座，支撑镜框用于支撑光学元件，支撑镜框连接在微动调整机构上；三个微位移驱动器通过微位移驱动器连接座均匀分布连接在微动调整机构圆周侧壁内部；三个微位移传感器通过微位移传感器连接座连接在微动调整机构上，在圆周方向每个微位移传感器设置在两个微位移驱动器的中间位置；微动调整机构为一体化结构，装配简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 狭缝 柔性 结构 光学 元件 微动 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种狭缝柔性结构的光学元件微动调整装置，其特征是，该装置包括支撑镜框(2)、微动调整机构(3)、三个微位移驱动器(4)、三个微位移驱动器连接座(5)、三个微位移传感器(7)及三个微位移传感器连接座(6)；所述支撑镜框(2)用于支撑光学元件(1)，所述支撑镜框(2)连接在微动调整机构(3)上；所述三个微位移驱动器(4)通过微位移驱动器连接座(5)均匀分布连接在微动调整机构(3)圆周侧壁内部；所述三个微位移传感器(7)通过微位移传感器连接座(6)连接在微动调整机构(3)上，在圆周方向每个微位移传感器(7)设置在两个微位移驱动器(4)的中间位置。
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